تاریخچه:
اصول طیف سنجی جرمی، جلوتر از هر یك از تكنیكهای دستگاهی دیگر، بنا نهاده شده است. تاریخ پایه گذاری اصول اساسی آن به سال ۱۸۹۸ بر می گردد. در سال ۱۹۱۱، "تامسون" برای تشریح وجود نئون-۲۲ در نمونه ای از نئون-۲۰ از طیف جرمی استفاده نمود و ثابت كرد كه عناصر می توانند ایزوتوپ داشته باشند. تا جایی كه می دانیم، قدیمیترین طیف سنج جرمی در سال ۱۹۱۸ ساخته شد. اما روش طیف سنجی جرمی تا همین اواخر كه دستگاههای دقیق ارزانی در دسترس قرار گرفتند، هنوز مورد استفاده چندانی نداشت. این تكنیك با پیدایش دستگاههای تجاری كه بسادگی تعمیر و نگهداری می شوند و با توجه به مناسب بودن قیمت آنها برای بیشتر آزمایشگاههای صنعتی و آموزشی و نیز بالا بودن قدرت تجزیه و تفكیك، در مطالعه تعیین ساختمان تركیبات از اهمیت بسیاری برخوردار گشته است.